近红外视频检测系统
--西努光学视频解决方案介绍
近红外视频显微镜检测领域
半导体行业、MEMS、光电产品检测以及替代昂贵的红外显微镜运用。
原理: 红外光源在1100nm左右波长光线可以穿透半导体材料,可以看到其内部缺陷。
图一 近红外检测原理
近红外镜头、光源、摄像机选择:

图二 相机、光源、镜头搭配的光谱特性
光学镜头:选择为美国NAVIAR的NIR镀膜镜头,可在最大限度上保证通光效率;
光源:我们选用的是日本
MORITEX红外卤素光源以及相对应的石英光纤做传导;
摄像机:我们采用的摄像机在1100nm光源条件下透光率在50%以上(根据用户需求配置);
机械部件:可以根据产品的具体需要选择二轴或三轴移动平台,以及各种相适应的反透视红外光源;
服务:我们有专门的工程师进行各种检测方案的制定、测试及设备维护。可协助您完成各种工件的检测以及检测流程的优化,并可对您的所有光学检测设备(即使不是负责范围内)进行升级优化、维护保养。
图三 一台近红外视频检测的简构机架
图四 检测出的异物图例
备注说明;
系统最分辨率可以从0.7微米到10微米选择不同
NAVITAR近红外镜头来搭配。
MORITEX近红外的光源灯泡使寿命为1000小时
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