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SQM测量工具显微镜大理石基台数字成像和影像处理测量技术更大的载物台。400×200的测量行程提高了对工件的处理能力SQM测量工具显微镜采用了正像光学系统(视像中的像与物品方向相同)非接触Z轴高度测量与数据处理系统的协同工作多种照明选择光学十字联动人机工程学设计
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